光學(xué)等離子體真空計(jì)

OPG550光學(xué)等離子體真空計(jì)

INFICON Augent?光學(xué)等離子體真空計(jì)是一種緊湊型智能真空監(jiān)測(cè)解決方案。體積小巧的Augent?集兩種傳感器技術(shù)于一身。進(jìn)行氣體類型監(jiān)測(cè)時(shí)，壓力測(cè)量范圍為1 × 10^-7至5毫巴；總壓力測(cè)量范圍可達(dá)1 × 10^-7毫巴至大氣壓。Augent?自帶具有保護(hù)作用的皮拉尼傳感器，當(dāng)壓力超出20巴時(shí)可以關(guān)閉等離子體。

在1 × 10^-7至5毫巴的測(cè)量范圍內(nèi)，該儀表可用于檢測(cè)氧氣、氮?dú)?、氫氣或氬氣等氣體。

優(yōu)勢(shì)

? 高速檢漏，可進(jìn)行試驗(yàn)箱泄漏檢查

? 提高生產(chǎn)率和產(chǎn)量

? 使用壽命長(zhǎng)，燈絲不易燒毀，防空氣侵入

? 耐過(guò)程化學(xué)腐蝕

? 采用智能算法，易于集成

? 結(jié)構(gòu)緊湊，空間占用小

? 啟動(dòng)快速可靠

應(yīng)用范圍

? 試驗(yàn)箱泄漏檢查，提供更快的RoR (上升速率)試驗(yàn)速度

? 進(jìn)行泄漏檢查，以查找供氣管路的內(nèi)部泄漏

? 實(shí)時(shí)端點(diǎn)控制

? 氣體類型和濃度控制