BCG450  B-A型皮拉尼電容膜片真空計

INFICON B-A型皮拉尼電容膜片真空計, BCG450, 將三種不同的技術綜合在一個簡單, 小型, 經濟的組裝件中用于測量過程和基本壓強從 5 x 10-10 至 1500 毫巴(3.75 x 10-10 至 1125 乇). BCG450 設計于取代三種傳感器 (熱離子, 增強對流的皮拉尼和真空開關), 從而降低成本和可貴的工具空間.

優(yōu)勢：

BCG450 節(jié)省成本和工具空間和減少真空測量安裝和設置的復雜性

與氣體類型無關的壓強測量, 在 10 乇以上為任何氣體混合物提供更可靠的預抽鎖控制

皮拉尼聯鎖保護熱燈絲防止過早燒毀

自動高真空皮拉尼調整減少操作人員的干預

大氣壓下的差分壓強測量可消除與大氣壓強變更有關的不定性

易于更換傳感元件和在機校準數據保證高的再現性

可選圖形顯示器和現場總線接口, 例如 以太網

RoHS 兼容性

應用：

半導體過程,傳送和自鎖室的壓強測量

工業(yè)鍍膜

從低至超高真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

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