名稱：MEMS技術(shù)核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01

品牌：SST

AFE-01由四個(gè)鉑金薄膜電阻構(gòu)成。阻抗低，加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個(gè)高阻抗電阻，用來檢測流速和流向。還有一個(gè)電阻用來檢測氣體的溫度?？拷訜嵩膬蓚€(gè)電阻連接成一個(gè)電橋。產(chǎn)生檢測流速和流向功能的一個(gè)輸出信號。沒有流量的情況下，這兩個(gè)電阻達(dá)到同樣的加熱狀態(tài)。當(dāng)有流量存在時(shí)，其中一個(gè)電阻的溫度比另一個(gè)低很多，具體哪個(gè)電阻溫度變低由流向決定。溫度差可以測量得到，由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間非常短，因?yàn)樗臒豳|(zhì)量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動(dòng)速度，溫度傳感器可以與恒溫風(fēng)速儀相連接。

優(yōu)勢

1、流向檢測

2、檢測小質(zhì)量物體的流動(dòng)

3、簡單的信號處理電路和標(biāo)定

4、完全固定的機(jī)械元件

5、優(yōu)異的重復(fù)性

6、優(yōu)異的長期穩(wěn)定性

7、適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼

8、最優(yōu)的性價(jià)比

應(yīng)用

1、差壓傳感器

2、HVAC和樓宇控制方案

3、醫(yī)療設(shè)備

4、汽車行業(yè)

5、設(shè)備檢測

技術(shù)指標(biāo)

測量原理：熱量原理

檢測量程：0 ... 50 m/s （以CTA模式的電路為例）

靈敏度：0.001 m/s

精 度：< 2%測量值（取決于電路和標(biāo)定）

響應(yīng)時(shí)間：T63% < 0.5 S

溫度范圍：-20…… +150 °C

電氣連接：絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)

加熱元件：RH (25°C) = 34 □± 10%

檢測元件：Rs_i (25°C) = 425 □ ± 10%

參考元件：RR (25°C) = 710 □ ± 10%

供電電壓：一般為 2 …… 5 V（取決于氣體流速）

基片材料：低熱導(dǎo)陶瓷