超純水設(shè)備的原理主要基于反滲透技術(shù)，結(jié)合預(yù)處理、離子交換、終端超濾等多個(gè)單元，以確保產(chǎn)出水質(zhì)達(dá)到超純水平。

超純水設(shè)備的工作流程大致可以分為以下幾個(gè)主要步驟：

預(yù)處理：自來(lái)水首先通過(guò)預(yù)處理單元，這一步驟的主要目的是去除水中的較大顆粒、懸浮物以及部分有機(jī)物，為后續(xù)的處理步驟做準(zhǔn)備。
反滲透：經(jīng)過(guò)預(yù)處理的水進(jìn)入反滲透單元，這里利用反滲透膜對(duì)水施加一定的壓力，使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過(guò)反滲透膜，而溶解在水中的絕大部分無(wú)機(jī)鹽、有機(jī)物以及細(xì)菌、病毒等無(wú)法透過(guò)反滲透膜，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)這些雜質(zhì)的截留性去除。
離子交換：在反滲透之后，設(shè)備進(jìn)入離子交換單元，這一步驟的目的是對(duì)經(jīng)過(guò)膜去除后殘余的微少離子進(jìn)行純化和超純化，使水中的離子含量降低到痕量水平。
終端超濾：最后，通過(guò)UV、超濾等技術(shù)確保超純水中的微生物、有機(jī)物和熱原滿足各類(lèi)實(shí)驗(yàn)應(yīng)用需求。
超純水機(jī)的反滲透原理是在原水一方施加比自然滲透壓力更大的壓力，使水分子由濃度高的一方逆滲透到濃度低的一方。由于反滲透膜的孔徑遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于病毒和細(xì)菌的幾百倍乃至上千倍以上，各種病毒、細(xì)菌、重金屬、固體可溶物、污染有機(jī)物、鈣鎂離子等根本無(wú)法通過(guò)反滲透膜，從而達(dá)到水質(zhì)凈化的目的。

此外，超純水設(shè)備還采用多介質(zhì)過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器及保安過(guò)濾器作為前級(jí)處理，有效除去原水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機(jī)硅膠體、有機(jī)物、異味、余氯等雜質(zhì)，使經(jīng)過(guò)處理后的原水符合反滲透的進(jìn)水要求。然后進(jìn)入程控反滲透裝置去除水中的溶解性鹽類(lèi)物質(zhì)、細(xì)菌、熱源等，使用離子交換混床進(jìn)行深度脫鹽，使產(chǎn)水電阻率達(dá)到15～1 8.2MΩ·cm。后處理采用紫外線殺菌器和精密過(guò)濾器隔絕細(xì)菌的二次污染，產(chǎn)水可達(dá)到國(guó)家電子級(jí)水的技術(shù)指標(biāo)。